skip to Main Content
Время работы (по Москве)
пн • вт • ср • чт • пт • сб • вс
 9-20 
Звонок по России бесплатный

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Артикул NF0018495
ISBN

978-5-9963-0032-7

Издательство

Автор

Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. ; Под ред. С.П. Тимошенкова

Год

2018

Страниц

283

Переплет

твердый

240 руб.

В наличии

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Отзывов пока нет.

Помогите коллегам в поисках полезной информации! Оцените книгу, пожалуйста!
Войти с помощью: 
Back To Top